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前瞻技術:

固態(tài)激光雷達

1.基本原理

分為:外部光源、OPA 光子相位陣列列、分路器、光波導、移相器、光發(fā)射天線陣列

其測距原理均不使用FOT時間飛行法,采用相干法

2.關鍵技術

光路調(diào)相機制:PIN調(diào)相 ,切換速度快;熱光子器件調(diào)相,切換速度慢,成熟

硅基光子器件:硅基光敏器件(接收,成熟),硅基激光發(fā)射器件(發(fā)射,不成熟)

光天線:普遍采用波導光柵

光路制備工藝:普遍采用SOI工藝


3.光路調(diào)相

光路調(diào)相有兩種技術:熱光子環(huán)和PIN二級管,本質(zhì)上都是增加光路時延。

PIN 調(diào)相(CALTECH)

熱光子開關(MIT)

4.器件

光器件是基于SiGe工藝,接收管可以和SOI工藝兼容。激光管不行。器件看這篇:

專欄作家斛律哥:摩爾定律的黃昏,自動駕駛的黎明:站在時代肩膀上的光電半導體zhuanlan.zhihu.com硅鍺工藝制備的光敏二極管(UCSB),用于接收進行波導到光柵的轉(zhuǎn)換利用衍射效應,通過光柵將光子發(fā)射出去

硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler(聚焦光柵耦合器),發(fā)射天線

5.工藝

典型的光柵制作工藝:

1.紫外光刻

2.感應耦合等離子體蝕刻

3.光柵體蝕刻深度70nm深

4. 使用Si3N4制作光波導

5.使用SiGe工藝制作光敏二極管,用于接收